近日,科技部高技術(shù)中心“戰(zhàn)略性先進電子材料”重點專項管理辦公室組織專家在無錫對國家重點研發(fā)計劃專項“聲表面波材料與器件”項目進行了現(xiàn)場中期檢查。專家組聽取了項目組工作匯報,現(xiàn)場觀看了樣品和研發(fā)生產(chǎn)現(xiàn)場,一致認為項目全面完成了任務(wù)書規(guī)定的中期研發(fā)內(nèi)容和考核指標,在成果應(yīng)用方面取得重要進展。
該項目主要面對物聯(lián)網(wǎng)等領(lǐng)域的高性能無源傳感器的需求,實現(xiàn)其在復(fù)雜環(huán)境和極端環(huán)境的多類型傳感器集成應(yīng)用;研發(fā)應(yīng)用于4G、5G移動通訊終端濾波器的高性能壓電單晶襯底材料和換能器材料,實現(xiàn)高世代聲表面波濾波器的關(guān)鍵技術(shù)集成,建立高性能濾波器示范生產(chǎn)線。項目進行到中期,研發(fā)出了多種具有強(111)織構(gòu)的高性能Al/Ti(Ni)多層結(jié)構(gòu)換能器材料,使濾波器功率耐受性提升至35dBm;設(shè)計并制備出了大帶寬、低插損、小帶內(nèi)波動的濾波器;聲表面波器件體積減小至1.1×0.9×0.45mm3; 同時建立了自主知識產(chǎn)權(quán)的聲表面波材料與濾波器生產(chǎn)線,實現(xiàn)了濾波器的小批量生產(chǎn)。