中國電子元件行業(yè)協(xié)會
China Electronic Components Association
微光機電系統(tǒng)（MOEMS）氣體傳感技術是光學式氣體傳感器技術與MOEMS技術、新材料技術相結(jié)合的創(chuàng)新型技術方案。MOEMS氣體傳感器具有更低的價格、更高的集成度、更強的抗干擾能力，以及更高的檢測精度。
針對MOEMS氣體傳感技術的研究進展，南京郵電大學的研究團隊進行了綜述分析，闡述了主要光學式氣體傳感系統(tǒng)的工作原理及系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、MOEMS氣體傳感技術中最新的微光學器件及微光學系統(tǒng)，并通過分析MOEMS氣體傳感器的主要研究成果，展望了該領域未來的研究重點及發(fā)展挑戰(zhàn)。相關內(nèi)容以“MOEMS氣體傳感技術研究進展”為題，發(fā)表在《半導體光電》期刊上。
光學式氣體傳感器原理和結(jié)構(gòu)
光學式氣體傳感器的工作原理主要包括吸收光譜式、光干涉式、熒光光譜式、光電比色式、離子電流式等。吸收光譜式氣體傳感器技術相對成熟度高、產(chǎn)量最大、應用最廣，常用于CO2、CO、CH4、NO2、C2H2等氣體的高精度檢測，其優(yōu)點是具有簡單可靠的氣室結(jié)構(gòu)，調(diào)換光源對應不同的吸收光譜就可以實現(xiàn)檢測不同的氣體。
吸收光譜式氣體傳感器的吸收光度與待測氣體的濃度有關，通過檢測透射光的光強變化可以實現(xiàn)不同氣體濃度檢測。吸收光譜式氣體傳感器根據(jù)探測吸收的響應波段進行技術分類，如圖1所示，具體可以分為紫外和可見光波段的差分光學吸收光譜技術（DOAS）、可見光和近紅外波段的差分吸收激光雷達技術（DIAL）、中紅外波段的非色散紅外光譜技術（NDIR）、紅外波段的傅里葉變換紅外光譜技術（FTIR），以及既可對可見光波段進行檢測又可以對紅外波段進行檢測的可調(diào)諧二極管激光吸收光譜技術（DLAS）。
圖1 基于氣體光譜分析技術的分類示意圖
吸收光譜式氣體傳感器是光譜分析技術與現(xiàn)代光學技術相結(jié)合的產(chǎn)物。其原理簡單，系統(tǒng)的基本構(gòu)成組件也相對較少，主要包括光源、氣室、反射光路、干涉儀（動鏡、定鏡、分束器）、光探測器、調(diào)理電路。
光學式氣體傳感器中的MOEMS組件
光學式氣體傳感器中的MOEMS基本系統(tǒng)組件包括光發(fā)射器、微鏡、微光開關以及微光譜儀。
吸收光譜式氣體傳感器的光源通常采用半導體光源，包括發(fā)光二極管、激光二極管和分布反饋式半導體激光器。傳統(tǒng)的吸收光譜式氣體傳感器中使用的光源發(fā)射率相對較高且成本低，開發(fā)更高效率以及實現(xiàn)更快調(diào)制頻率的光源是光源器件發(fā)展的趨勢。目前，大量研究都是從材料和光源器件結(jié)構(gòu)方面入手。材料方面，由于間接帶隙半導體輻射躍遷幾率小，而且載流子注入造成的損耗高，研究中常選用能夠發(fā)射所需波長光的直接帶隙半導體材料。結(jié)構(gòu)方面，MOEMS實現(xiàn)的光源發(fā)生器可以加工在陶瓷基底或者硅基底上，由于器件體積小、熱質(zhì)量低，可以實現(xiàn)快速調(diào)制。圖2是利用絕緣體上硅（SOI）微加工技術制備的紅外發(fā)射器實例。
圖2 基于MEMS表面加工工藝制備的紅外發(fā)射器
微鏡是典型的MOEMS執(zhí)行器件，用在MOEMS光學式氣體傳感器系統(tǒng)中可以實現(xiàn)平移和轉(zhuǎn)動控制光程長度調(diào)制，甚至可以替代分光器將光分裂成兩束，在相位移動后再重新組合輸出干涉圖進而得到光譜信息。常見的微鏡結(jié)構(gòu)具有鏡面狀和梳狀兩種。運動的形式包括平面外移動、平面內(nèi)移動以及旋轉(zhuǎn)三種。Thilo Sandner等人報道了一種用于小型FTIR光譜儀的MOEMS微鏡，可以實現(xiàn)快速光程長度調(diào)制，如圖3（a）所示。Danick Briand等人報道的光譜儀中使用了具有固定微鏡和可動微鏡的陣列，如圖3（b）所示。
圖3 （a）平面外移動振蕩的MOEMS微鏡；（b）平面內(nèi)移動振蕩的梳齒狀MOEMS微鏡
MOEMS光開關主要指基于MEMS加工技術的新型機械式光開關，主要用于微鏡和鏡面陣列的形式切換、組裝光學交叉連接（OXC）、光分插復用（OADM）、光路通斷等。MOEMS光開關與IC兼容，具有可靠性高、耦合損耗低、隔離度高、速率與調(diào)制方式無關的特點，可擴展性強，易于實現(xiàn)具有可重構(gòu)無阻塞大規(guī)模光開關陣列，成為高速大容量光網(wǎng)絡中光開關發(fā)展的主流方向。Aksyuk推出的著名的Wave Star光開關是最早的商業(yè)化應用比較成熟的MOEMS光開關，如圖4所示。
圖4 微米尺度和納米尺度的MOEMS光開關器件
光譜儀通常由一個或幾個衍射光柵、光路和一個探測器陣列構(gòu)成。從微加工的微光譜儀實現(xiàn)方面，光學元件的質(zhì)量和系統(tǒng)光對準直接影響分辨率。在氣體探測應用方面，氣路長度是影響檢測氣體靈敏度的一個重要因素。Mazen等人報道了基于中紅外（MIR）光譜范圍的氣體檢測的MOEMS光譜儀。圖5是利用中紅外光譜對CO2氣體濃度進行檢測，是一款對環(huán)境濕氣不敏感的FTIR微光譜儀。該光譜儀通過SOI深硅蝕刻技術加工而成。
圖5 FTIR光學式氣體傳感器
結(jié)論及展望
目前，新型MOEMS氣體傳感器技術領域依然以傳統(tǒng)宏觀組件為主，關于MOEMS技術應用則主要集中在系統(tǒng)功能組件的設計和開發(fā)上，其氣體系統(tǒng)微型化設計和集成加工還處在起步階段。除了MOEMS氣體傳感器功能組件之外，專用管殼內(nèi)組合封裝可以實現(xiàn)對于沖擊、振動包括干擾氣體的過濾，對于MOEMS氣體傳感器的性能影響較大。
展望未來，需要在MOEMS氣體傳感器新材料、新工藝、新結(jié)構(gòu)方面加強研究。此外，大部分的MOEMS氣體傳感器系統(tǒng)采用板級電路，因此MOEMS氣體測量技術的專用集成電路亦是未來的重點發(fā)展方向之一。
