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株式會社村田制作所（TOKYO:6981，以下簡稱“村田”）已開發(fā)出了能夠以超高水平精度檢測姿態(tài)角和自身位置的小型6軸慣性傳感器“SCH16T-K01”，主要用于工業(yè)設備用途。目前已開始提供樣品，量產(chǎn)計劃于2024年3月開始。以該產(chǎn)品為首的下一代6軸產(chǎn)品SCH16T系列今后將逐步擴大產(chǎn)品陣容。

隨著工業(yè)設備的高功能化，配備的電子元件數(shù)量也在不斷增加，因此，傳感器封裝需要實現(xiàn)小型化。此外，由于工業(yè)設備的自動化程度不斷提高，精確獲取動態(tài)姿態(tài)角(1)和自身位置的需求也在不斷增加。傳感器各軸（X軸、Y軸和Z軸）的正交性是更精確地估算動態(tài)姿態(tài)角的一個重要因素，迄今為止，為了確保正交性，用戶必須通過其他設備外部校準。

(1) 動態(tài)姿態(tài)角：運動物體的姿態(tài)角。

為此，村田開發(fā)了一種在達到了世界超高水平精度的6軸MEMS慣性傳感器，噪聲低而且輸出穩(wěn)定。陀螺儀傳感器和加速度傳感器的每個軸都能輸出經(jīng)過正交補正后的值。能簡化用戶的校準過程，有助于降低生產(chǎn)成本。此外，緊湊的設計可以幫助節(jié)省PCB空間。僅使用“SCH16T-K01”就能實現(xiàn)3軸陀螺儀傳感器和3軸加速度傳感器的正交性能得到保證的6DoF(2)。

(2) 6DoF(6 Degrees Of Freedom):物體在3維空間中能夠獲取的運動自由度。

今后，村田將繼續(xù)致力于開發(fā)滿足市場需求的慣性傳感器，為提高工業(yè)設備的精度做出貢獻。

主要特長

1. 在MEMS陀螺儀中實現(xiàn)了世界超高水平的傳感器性能
   ●Gyro bias instability（down）　 0.5deg/h或更低
   ●Gyro noise density　 0.3 mdps/ √ Hz或更低
   ●Linearity　 　0.02dps(陀螺儀)　 0.06m/s^2（加速度）　 ※全溫度范圍

   
   

2. 對陀螺儀和加速mg度各軸的正交性進行補正后的傳感器輸出
   軸正交性Error值　0.3deg或更小　※全溫度范圍

   
   

3. 村田的6軸產(chǎn)品中的最小尺寸
   12mm x 14mm x 3mm（長ｘ寬ｘ高）