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成果簡介

針對高精度、高性能MEMS加速度計、陀螺儀的全國產(chǎn)化設(shè)計與制造需求，在高精度、高性能加速度計、陀螺儀的結(jié)構(gòu)設(shè)計、晶圓級制造工藝檢測、先進(jìn)封裝、專用集成電路等方面開展研究，突破了全自主、全國產(chǎn)中高端MEMS慣性器件流片工藝，核心指標(biāo)接近甚至部分超越國際主流產(chǎn)品，解決“卡脖子”問題。主要產(chǎn)品及技術(shù)參數(shù)如下：1）MEMS陀螺儀：具有<1%地球轉(zhuǎn)速分辨能力，定向精度優(yōu)于1°，零偏不穩(wěn)定性及尋北精度接近以Honeywell HG7930為代表的國際最高水平；2）MEMS諧振式加速度計：尺寸8.8mm×8.8mm，量程±30g，偏值不穩(wěn)定性<1μg；通過-40~60℃全溫區(qū)、13.8grms隨機(jī)振動、150g跌落、3000g沖擊響應(yīng)譜等模擬環(huán)境驗證。零偏與標(biāo)度穩(wěn)定性與Honeywell的石英基產(chǎn)品QA3000持平，抗沖擊能力更優(yōu)。

應(yīng)用領(lǐng)域

無人系統(tǒng)、自動駕駛、高端工業(yè)、電子產(chǎn)品等領(lǐng)域。

市場前景

MEMS慣性傳感器成果已在多家重點企業(yè)加速度計、陀螺儀項目得到應(yīng)用，并且憑借自身成本、體量、功耗、可靠性等綜合性能進(jìn)入其他運動感知傳感器市場。預(yù)計2023至2026年中國MEMS慣性傳感器行業(yè)市場規(guī)模年復(fù)合增長率將達(dá)到11.15%，到2026年能夠增長至362.58億元。目前中高端產(chǎn)品被國外寡頭壟斷，國產(chǎn)替代機(jī)會空間豐厚；下游新需求、新應(yīng)用拉動，中國MEMS慣性傳感器市場增速將領(lǐng)先全球。

知識產(chǎn)權(quán)

已獲批多項專利，均為成果單位單獨持有。